Edwards有限公司日前推出了其STP-iXA4506大容量涡轮分子泵(TMP)。这款产品旨在为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池板制造商节省更多成本。

         Edwards公司TMP产品营销经理ShinichiYoshino表示：“新型STP-iXA4506涡轮泵是拥有改良抽气性能的一体化解决方案。它采用了Edwards最新的转子设计和成熟且高度可靠的iXA系列机载控制器，使容许通过的气量最大化，从而使高流量过程所需的涡轮泵数量减至最小，尤其是在太阳能和平板应用中。泵集成的控制器免去了对线缆和独立控制器机架的需求，因而也节省了成本，体积紧凑易于在各种应用中快速安装。此外，就像我们所有的磁浮式涡轮泵一样，无需机械轴承的特性几乎免除了定期维护的成本。”

　　这款涡轮泵的高抽速度(4300l/sN2)和高流量(高达4300sccmN2)结合其有效抽吸轻气体和重气体的能力，使STP-iXA4506非常适用于许多不同的大流量、高流动性应用，包括半导体蚀刻、LCD蚀刻、玻璃镀膜、太阳能PVD和PVD镀膜。其高度集成的设计包括一个完全密封的电子模组，以在最严苛的工厂环境中实现稳健、可靠的操作。需要时还可增加一套加热系统，以减少来自工艺过程中副产物的沉积物和微粒的堆积。